تطبيق تبلور فرن التلدين السريع RTP في التحكم في تباين أغشية العقيق الحديدي

Jan 05, 2024

ترك رسالة

تعد معادن الجارنيت الحديدية النادرة (REIGs) نوعًا من المعادن الغنية بالعناصر الأرضية النادرة، نظرًا لخصائصها الفيزيائية والكيميائية الفريدة، مما يُظهر إمكانات تطبيقية كبيرة في مجال الإلكترونيات الدورانية والإلكترونات المغناطيسية. تجعلها ميكانيكا موجة الدوران السريعة، وسرعات جدار المجال العالية، وخصائص التخميد المنخفضة إلى المتوسطة، تُظهِر أداءً ممتازًا في أجهزة الميكروويف والاتصالات عالية التردد [1]. في الوقت نفسه، تتمتع معادن الجارنيت الحديدية النادرة أيضًا بخصائص مغناطيسية جيدة، مما يجعلها خيارًا مثاليًا لتخزين البيانات وأجهزة الاستشعار المغناطيسية، في مجالات الإلكترونيات والاتصالات والليزر وتخزين البيانات. ومع ذلك، لم يتم إثبات التعديل المتباين الناتج عن الجهد على أغشية معادن الجارنيت الحديدية النادرة المزروعة على ركائز كهربائية ضغطية.

 

في الوقت الحاضر، استخدمت Miela J. Gross [2] تقنية الرش المغناطيسي لإعداد طلاءات SiO2 مقاس 5 نانومتر على ركائز Si (001) أو PMN-PT (011). بعد ذلك، تم ترسيب أهداف DyIG وYIG الكيميائية بنجاح بواسطة تقنية الترسيب بالليزر النبضي (PLD) لإعداد أغشية YDyIG بسمك 42 نانومتر. تم إجراء المعالجة الحرارية السريعة (RTP) لمدة 5 دقائق عند 750 درجة جو O2 لتعزيز تبلور الفيلم، وبالتالي تحسين ترتيب وأداء هيكل العقيق الخاص به.